Vacuum Chuck table

Vacuum Chuck table

    

Ceramic chuck tables are mainly used to support and chuck the semiconductor wafer when 

grinding and dicing .it is applied in the processes of thinning ,dicing ,clearance, transportation and so on .

these products which have high cost performance produced by our institute can match dicing machine: Disco, ADT and Accretech.    

Wafer size :2'', 3'', 4'', 5'', 6'', ''8, 12'' 

Suitable devices: wafer grinder, dicing machine and cleaning ,machine ,etc

chuck type: fine-pore ceramic 

Characteristics：

high flatness and parallelism

compact and uniform microstructure with high strength 

good permeability and uniform adsorption

www.chuck-table.com


Tablas de mandril de cerámica se utilizan principalmente para apoyar y tirar la oblea de semiconductor cuando
molienda y cortar en cubitos .it se aplica en los procesos de adelgazamiento, cortar en cubitos, despacho, transporte y así sucesivamente.
estos productos que tienen alto funcionamiento de coste producido por nuestro instituto puede coincidir con máquina de cortar en cubitos: Disco, ADT y Accretech.

Tamaño de la oblea: 2 '', 3 '', 4 '', 5 '', 6 ", 8",9", 12 ''
Los dispositivos adecuados: Amoladora oblea, máquina de cortar en cubitos y limpieza, máquina, etc.
Tipo de mandril: poro fino de cerámica

características:
alta planeidad y paralelismo
microestructura compacta y uniforme con alta resistencia
buena permeabilidad y la adsorción uniforme

www.chuck-table.com