High Purity Alumina Ceramic Wafer Polishing Plates/Turn Table

High Purity Alumina Ceramic Wafer Polishing Plates/Turn Table

High-purity alumina ceramic features outstanding rigidity and excellent wear-resistance for wafer polishing; the uniform chemical durability and special treated materials maintains good surface shape over a long period of time.

http://www.chuck-table.com

Material	Self Formulated Alumina 99%
Shape	Convex, flat and concave available.
Size	MAXφ650mm
Precision	Flatness: 1μm or less

Ceramic plates and ring for polishing

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Ceramic plates and ring for polishing

  

We supply  ceramic plates for CMP polishing with various outer diameter and thickness. 

Ceramic Plate

Ceramic Plates (also known as Wafer Carrier Plates) could be used for CMP dicing, lapping, polishing and thinning of 3, 4, 5, 6 inches semiconductor wafers. It has advantages such as high flatness and parallelism, compact and uniform microstructure, and high cost performance.

Advantages

• Good Chemical stability, high abrasion resistance and corrosion stability
• fast heat transmission
• high flatness and no deformation
• no pores, scratches and cracks

ULTRA-FLAT CERAMIC VACUUM CHUCKS

ULTRA-FLAT CERAMIC VACUUM CHUCKS 

Sorry competitors , we have beaten you again on the flatness and parallelism

Solutions Developed Specifically for Wafer Handling

As an emerging  leader in technical ceramics for Semi Conductor industry, Werlchem LLC is gradually established her leadership in ceramic applications of  Semi Conductor industry.

Our ultra-flat ceramic vacuum wafer chucks provided a reliable solution for semiconductor wafer processing. Low-surface-contact configurations minimize risk of back-side particles negatively affecting wafer geometry for precision applications. We offer:

• Ultra-flat capabilities--flatness and parallelism is what gets us heret
• High stiffness---Uniform pore size and porosity 
• Low thermal expansion---self formulated and processed ceramic powder
• Large size capability – 450 mm and beyond
• Extreme wear resistance---Even though it may mean you will only buy once form us in your life time..
• Customized orders are always not a problem and welcomed

High-Purity Materials Expertise

From self formulated powder production and basic forming to precision finishing and measurement, Werlchem LLC produces high-quality, top-performance components. You'll find our materials:

• Reduce the effect of particulate contamination
• Offer ultra-clean purity
• Minimize wafer contact
• Resist corrosion in aggressive chemical cleaning

Typical applications include:

• Lithography
• Inspection
• Wafer cleaning
• Non-vacuum process chambers

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Vacuum Continuum

Bienvenida para discutir cuestiones técnicas y proporcionaremos CONSULTAS gratuitas!

Haga la aduana es posible y dio la bienvenida Nuestro sitio web:

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Hacemos fabricar nuevos poroso de cerámica tirada del vacío de mesa. Personalizado - hacer, reemplazo de/de reparación de cerámica tirada del vacío de mesa.

Fabricar ~ nuevo poroso de cerámica tirada del vacío de mesa
~ personalizado - hacer
~ reemplazo de nuevo poroso de cerámica existente para mesa de mandril
Reparación de ~ desigual poroso de cerámica de la superficie existente para mesa de mandril

 Nuestros productos incluyen de bajo costo de vacío chuck porosa tabla que se utiliza en el proceso de cortar en cubitos y también se especializan en la renovación y sustitución que original cumple con las especificaciones del oem. Tenemos bien establecido de la pista y los registros de la confianza durante tantos años y a un muy precio competente y han conocido a compromiso sobre la calidad. We puramente utiliza sólo de origen japonés poroso de cerámica con precios competitivos.

nuestra cerámica porosa mesa de mandril para las industrias de semiconductores

Mesa de mandril precisiones

El tamaño de precisión

4 pulgadas   2 micrón

5 pulgadas   2 micrón

6 pulgadas   3 micrón

8 pulgadas   5 micrón

9 pulgadas   5 micrón

12 pulgadas 5 micrón

Vacuum Chuck table

Vacuum Chuck table

    

Ceramic chuck tables are mainly used to support and chuck the semiconductor wafer when 

grinding and dicing .it is applied in the processes of thinning ,dicing ,clearance, transportation and so on .

these products which have high cost performance produced by our institute can match dicing machine: Disco, ADT and Accretech.    

Wafer size :2'', 3'', 4'', 5'', 6'', ''8, 12'' 

Suitable devices: wafer grinder, dicing machine and cleaning ,machine ,etc

chuck type: fine-pore ceramic 

Characteristics：

high flatness and parallelism

compact and uniform microstructure with high strength 

good permeability and uniform adsorption

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Tablas de mandril de cerámica se utilizan principalmente para apoyar y tirar la oblea de semiconductor cuando
molienda y cortar en cubitos .it se aplica en los procesos de adelgazamiento, cortar en cubitos, despacho, transporte y así sucesivamente.
estos productos que tienen alto funcionamiento de coste producido por nuestro instituto puede coincidir con máquina de cortar en cubitos: Disco, ADT y Accretech.

Tamaño de la oblea: 2 '', 3 '', 4 '', 5 '', 6 ", 8",9", 12 ''
Los dispositivos adecuados: Amoladora oblea, máquina de cortar en cubitos y limpieza, máquina, etc.
Tipo de mandril: poro fino de cerámica

características:
alta planeidad y paralelismo
microestructura compacta y uniforme con alta resistencia
buena permeabilidad y la adsorción uniforme

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