SemiXicon

前工序工艺设备:

光刻机: 佳能PLA-501F, 600. PE-340,500,600系列 分步重复光刻机STEPPER ASML-Stepper 分步光刻机 Ultratech Stepper Model 1700 涂胶显影导轨: SVG 8600,8800 刻蚀机: Tegal 900/901/903. 去胶机Branson 3000,3100 各种扩散炉 化学气相沉积APCVD(WJ-999),PECVD, LPCVD 溅射台3180, 3190, 3290 蒸发台MARK-50. 离子注入机 NV10160,GDS-80 硅片探针: EG1034,EG2001,3001 硅片腐蚀清洗设备: FSI-Titan 兆声波清洗Verteq Meg-sonic, 湿洗台Wetbench, Wet Etch                  清洗甩干机 工艺参数测量设备:    4点探针 FPP-5000,    C-V 图示仪(电容/电压曲线测量仪)    少数载流子寿命测试仪    尘埃颗粒测量仪KLA Tencor5500,6200,SP1    膜厚测试仪 Nanospec 180/181/210    台阶仪:Tencor AlphaStep 200/300/500 集成电路测试系统 MTI-1030 用于测试运放/比较器,电源管理器件,脉宽调制器件,稳压电源器件,音频器件,各类数字模拟混合电路 分离器件测试系统ST5000E,ST5300HS 1000-2000V,50A-1200A,用于测试大功率MOSFET, IGBT,二极管,三极管,整流桥 各种备品备件

后工序设备

划片机,粘片机,压焊台,塑封机,机械手 可靠性实验设备,漏气检验,离心实验机等

硅片生产设备:

切片机, 磨片机 抛光机 Siltek 3800/3806,  Speedfam 16/18/50 硅片厚度平整度测试分选设备 ADE 8100, 7200, 9300, 9500, 9520, 9530, 9600 硅片减薄机: 迪斯科 DISCO 斯特拉斯Strasbaugh 7AA, GMN 2R400 激光打标机, 激光识别机 硅片腐蚀清洗机, 倒角机 硅片表面检查魔镜