vacuum continuum: June 2015

Wednesday, June 17, 2015

End Effector---ceramic wafer arm

End effector (ceramic robot hand) constitute the end of the robot arm which handles and moves the semiconductor wafer between positions. It’s basically the robot’s hand so it is important that it be thermally and dimensionally stable and not contaminate the chamber with particles or chemical contaminants.

www.chuck-table.com

Friday, June 12, 2015

SemiXicon

前工序工艺设备:
光刻机: 佳能PLA-501F, 600. PE-340,500,600系列分步重复光刻机STEPPER ASML-Stepper 分步光刻机 Ultratech Stepper Model 1700 涂胶显影导轨: SVG 8600,8800 刻蚀机: Tegal 900/901/903. 去胶机Branson 3000,3100 各种扩散炉化学气相沉积APCVD(WJ-999),PECVD, LPCVD 溅射台3180, 3190, 3290 蒸发台MARK-50. 离子注入机 NV10160,GDS-80 硅片探针: EG1034,EG2001,3001 硅片腐蚀清洗设备: FSI-Titan 兆声波清洗Verteq Meg-sonic, 湿洗台Wetbench, Wet Etch 清洗甩干机工艺参数测量设备: 4点探针 FPP-5000, C-V 图示仪(电容/电压曲线测量仪) 少数载流子寿命测试仪尘埃颗粒测量仪KLA Tencor5500,6200,SP1 膜厚测试仪 Nanospec 180/181/210 台阶仪:Tencor AlphaStep 200/300/500 集成电路测试系统 MTI-1030 用于测试运放/比较器,电源管理器件,脉宽调制器件,稳压电源器件,音频器件,各类数字模拟混合电路分离器件测试系统ST5000E,ST5300HS 1000-2000V,50A-1200A,用于测试大功率MOSFET, IGBT,二极管,三极管,整流桥各种备品备件
后工序设备
划片机,粘片机,压焊台,塑封机,机械手可靠性实验设备,漏气检验,离心实验机等


硅片生产设备:
切片机, 磨片机抛光机 Siltek 3800/3806, Speedfam 16/18/50 硅片厚度平整度测试分选设备 ADE 8100, 7200, 9300, 9500, 9520, 9530, 9600 硅片减薄机: 迪斯科 DISCO 斯特拉斯Strasbaugh 7AA, GMN 2R400 激光打标机, 激光识别机硅片腐蚀清洗机, 倒角机硅片表面检查魔镜